阈值线第一段,长度四微米,宽度零点八微米。
他需要把这段线条从掩膜上干净利落的切除,不能伤及两侧相邻的信号线。
间距只有一点二微米。
苏白屏住呼吸。
刀尖落下。
钨钢尖端触及掩膜表面的瞬间,他感觉到了一股不对劲的阻力。
掩膜底片的材质比预期的要脆。
五十年代的美国产醋酸片基,在北方的干燥严寒环境里存放了十几年,水分早就蒸发殆尽。
片基变的十分脆。
第一刀刚切入零点三微米深度,苏白通过破绽之眼看见了一件让他心脏骤停的事情。
切口边缘,一条极细的裂纹正在以肉眼不可见的速度向左延伸。
如果这道裂纹继续扩展超过两微米,就会切断左侧的主数据总线走线图案。
整张掩膜废掉。
而这张掩膜是孤本。
世界上独一无二的一张。
废了就没有第二张。
苏白的手停住了。
刀尖嵌在掩膜表面零点三微米深处,不能进,不能退。
进一分裂纹扩大,退一下刀尖回弹的微震同样会催裂。
佟舒看见苏白的手指突然一动不动,脸上的表情也凝固了。
她不知道发生了什么,但本能的感觉到了那种刀尖上跳舞的紧绷。
“怎么了?”
她压着嗓子问。
苏白没回答。
他的整个世界缩小到了目镜里那零点几微米见方的区域。
破绽之眼在疯狂运算。
裂纹的扩展方向、片基纤维的走向、残余应力的分布。
三秒钟后他得出了结论。
裂纹之所以向左扩展,是因为他第一刀的角度制造了一个向左的剪切应力。
如果他把刀身旋转十五度,改为向右下方施力,就能在裂纹尖端制造一个反向压应力。
压应力会钝化裂纹尖端,阻止它继续扩展。
但这个操作的容错空间是零。
角度偏差超过两度,压应力方向就会偏移,裂纹照样跑。
苏白的呼吸彻底停了下来。
手腕的肌肉纤维一根一根的独立控制。
刀身在指尖缓慢旋转。
十五度。
不多不少。
然后他向右下方施了极其微小的一个力。
破绽之眼实时监控着裂纹尖端的状态。
裂纹停了。
尖端被压应力钝化,不再扩展。
苏白松了半口气。
但活还没干完。
他需要在这个角度下,继续完成第一根线条的切除。
而且后续的三刀也必须用同样的非常规角度来操作,否则每一刀都会在脆化的片基上催生新的裂纹。
苏白调整好手腕位置,一点一点向前推进刀尖。
破绽之眼全程监控,每推进零点一微米就重新计算一次应力状态。
佟舒站在对面,指甲扣进了载物板的金属边缘里。
她能看见苏白的手背上青筋凸起,细微的汗珠从鬓角滑落。
但那只手纹丝不动。
第一根线。
切断。
苏白换了个呼吸节奏。
第二根线在第一根的正下方三微米处。
他移动载物板微调旋钮,把第二根线送到视野中心。
同样的角度,同样的力。
刀尖落下。
这一次没有新裂纹。
第一刀的压应力场覆盖了这个区域,片基暂时被稳定住了。
第二根线切断。
第三根。
苏白的后背已经湿透了,棉袄贴在脊梁上又冷又沉。
但他的手依然稳的吓人。
切断。
最后一根线。
这根线位于掩膜的最边缘区域,片基的脆化程度最严重。
苏白从破绽之眼的分析里看到,这个位置的片基厚度只剩下原来的百分之六十。
常规力度根本不行,必须把刀压减到极限的三分之一。
刀尖触及表面。
苏白的指尖力量控制在零点零五牛顿。
这个力度轻到端一杯水都嫌多余。
但钨钢刀尖的尖端面积极小,单位压强刚好够切入醋酸片基。
一微米,两微米,三微米,四微米。
切断。
苏白把刀从掩膜上收回来。
手指控制不住的抖了一下。
他靠在椅背上,闭着眼大口喘气。
后背的汗把棉袄浸透了一整片。
佟舒绕过对准台走到他旁边,手里攥着一条手绢。
她没说话,直接伸手把手绢按在苏白额头上,轻轻擦着他鬓角的汗。
苏白睁开眼,佟舒的脸就在眼前十厘米处。
红光映在她的瞳孔深处,亮一点暗一点的交替着。
她的手绢还按在他太阳穴上没收回去。
苏白抬起手,握住了她的手腕。
手绢夹在两人之间,佟舒的脉搏透过薄薄的布料传到他指腹上,跳的很快。
两人在红光里对视了三秒。
苏白松开手。
“去帮我看目镜下那四刀切的干不干净。”
佟舒红着脸退开,绕到目镜那边趴下去看。
镜片里,四根原本连接自毁计数器阈值的走线已经被干净利落的切断。切口边缘平整锐利,没有毛刺,没有裂纹扩展的痕迹。
“很干净。”
佟舒直起身子,声音里带着颤。
苏白站起来活动了一下手腕。
“下一步,把零点电位的连线接上去。”
他从工具包里取出一支极细的银浆笔。
笔尖直径零点五微米,是他用废弃的圆珠笔芯和纯银粉末自制的。
回到目镜前,在刚才切断的四个位置上,分别画了一根通向零电位总线的连接线。
银浆在片基上形成导电图案。
等风干固化之后,这四根新线就会取代原来的阈值设定线。
计数器的溢出条件从六万五千多变成了零。
自毁逻辑永远不会被触发。
苏白等银浆干了十分钟,确认固化无误后,把掩膜从载物板上取下来。
下一步是曝光。
他把高压汞灯从架子上折下来,调到距载物板正上方十五厘米处。
然后取出那瓶避光棕色瓶里的光刻胶。
用刮刀在一片新的玻璃基片上均匀涂了一层。
预烘两分钟。
把修改好的掩膜覆盖在涂好胶的基片上方,对准位置。
开灯。
紫外线汞灯发出刺目的蓝紫色强光。
曝光十五秒。
关灯。
苏白把基片浸入佟舒配好的碳酸钠显影液里。
三十秒后取出。
基片上,一张完整的芯片电路图案清晰呈现。
没有自毁后门。
苏白把基片举到安全灯下端详了一会儿。
破绽之眼确认:所有走线完整,四根新的零电位连线位置精准,与周围图案完美衔接。
这就是红星计划数控铣床核心控制芯片的光刻版。
干净的版本。
属于中国人自己的版本。
苏白把曝光好的光刻版放进避光盒里密封。
做完这一步,他整个人松了下来,肩膀往下垮了两寸。
佟舒给他倒了杯暖壶里的热水。
苏白接过来一口灌了半杯,喉结滚动。
“光刻版出]来了。”
苏白放下水杯,眼中闪过一丝疲惫后的光芒。
“接下来就是组装验证了,咱们离成功只差最后一步。”